前言：台灣半導體產業發展蓬勃，2008年國內半導體產業產值約新台幣1.3兆元，但半導體設備與零元件產值僅新台幣128億元，相較於半導體產業的風光，台灣半導體設備產業顯然星光黯淡許多。要如何帶動國內半導體設備產業發展，不僅關係到廠商的生路，也關係到國內半導體與精密機械產業未來的發展，因此產官學研各界皆應正視此課題。 半導體設備之定義與範圍根據經濟部工業產品分類，國內半導體設備共分為四類，分別為半導體製程設備、半導體封裝設備、半導體製程用之週邊設備與半導體檢測設備，其定義與範圍如表所示。 國內半導體設備產銷概況與產業特性根據台經院的統計資料，2008年台灣半導體設備產值為新台幣128.1億元，較2007年衰退22.9%，是近四年來首度呈現衰退的情形，顯示全球性的經濟蕭條確實對國內的半導體設備與零元件產業產生巨幅的影響，預測2009年仍會呈現負成長的趨勢。 發展關鍵設備技術待提升 台灣的半導體設備產業具有以下特性：1、半導體設備廠商以中小企業為主：國內設備商員工人數在50人以下公司占全體設備業者的67%，顯示台灣的半導體設備產業是以中小企業為主。2、國內半導體設備需求遠大於產值：2008年國內產值僅新台幣128億元，但市場需求高達新台幣1,612億元，顯示國內設備廠商有相當大之發展潛力。3、半導體設備業者無生產關鍵設備技術：台灣設備廠商以生產後段設備為主，前段製程的技術層級較高，國內廠商目前仍無生產此類關鍵設備能力。 結論：由於台灣半導體設備產業的特殊性，政府與相關學術及研究機構資源的全力投入對於國內半導體設備零元件的產業發展確實有其必要，尤其在國內相關廠商的規模無法與其他國外大廠相比的現實情況下，要扶植本土廠商成為具有國際競爭力的業者，投入大量的官方資源是勢在必行，如此未來的國內半導體設備與耗材零元件的自給率才能逐年提升，最終則是期待能達到完成自製的目標。