【台南訊】科學工業園區審議委員會第53次會議於5月18日在行政院國家科學委員會召開，會中通過旭明光電公司、漢民微測科技公司南科分公司等兩件投資審議案、兩件合併進駐竹科園區事業審議案及兩件竹科園區事業廢止審議案，投資審議案中，旭明光電公司在新竹科學工業園區設立，漢民微測南科分公司在南部科學工業園區設立；另核准增資案五件共計新台幣258.6億元。 此次通過之南科投資申請案，核准資本額新台幣1億元，其中，漢民微測科技公司南科分公司，投資金額新台幣1億元，擬研究、設計、開發、製造及銷售電子束晶圓檢測設備 (E-Beam Inspection Tool)。 該案電子束晶圓檢測設備產品，係半導體前段高階製程電子束檢測設備，目前國內半導體廠商使用仍以國外設備為主，國內廠商並未具有此部份技術。我國已成為全球半導體產品生產重鎮，但在半導體製程設備發展上，國外設備廠雖然視台灣為主要市場，但多以銷售與技術服務為主，因此，半導體設備產業是我國半導體產業中欠缺的一環；本案能提升國內半導體設備自主能力，有助於半導體產業降低成本、提供即時服務，以增加半導體產業競爭力。 南部科學工業園區管理局轄下台南園區及高雄園區截至5月18日統計，核准進駐園區廠商已有 163家，其中71家已量產，另有19家動工興建中。