半導體研習課程 18日工研院開課
2005/05/12
【新竹訊】由經濟部工業局主辦、工研院機械所執行的「半導體/平面顯示器廠務技術研習班」, 5月18、19日在工研院51館2C研討室舉辦,邀請工程設計、施工、廠務、研究等相關人員參加。 機械所表示,半導體/平面顯示器廠朝向越來越精密化與大型化,廠房的環境控制越來越多元化,包括溫度、濕度、靜電、粒狀汙染物與氣狀汙染物等環境因子的控制。該課程針對潔淨空調系統、氣狀汙染物控制及Dry Coil系統做深入淺出介紹,學員在研習中可以了解潔淨環境的處理新技術,包括不同製程系統設計方式。 工研院機械所電話(03)591-6529號蔡先生,網址www.mirl.itri.org.tw/。
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